摘要:本實用新型提供了一種精密對位平臺,所述精密對位平臺包括:下基板和位于所述下基板之上的上平臺;第一絲杠和第一支撐平臺;第二絲杠和第二支撐平臺;第三絲杠和第三支撐平臺;第四支撐平臺;所述第一絲杠、所述第二絲杠和所述第三絲杠均設置在所述下基板上;所述第一絲杠和第三絲杠垂直所述第二絲杠,所述第一支撐平臺、第二支撐平臺和第三支撐平臺呈等腰直角三角形布置;所述第四支撐平臺包括:下石板和設置在所述下石板之上的上石板,所述下石板固定在所述下基板上,所述上石板固定連接所述上平臺。本實用新型提高了整個系統的運行精度及負載能力,簡化了精密對位平臺的整體結構,降低了制作安裝難度和成本。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京卓立漢光儀器有限公司;
- 發明人杜勉珂;劉瑞強;
- 地址101102 北京市中關村科技園區通州園金橋產業基地環科中路16號聯東U谷中試區68號B座
- 申請號CN201520515188.3
- 申請時間2015年07月16日
- 申請公布號CN204771596U
- 申請公布時間2015年11月18日
- 分類號B23Q1/25(2006.01)I;